第9章 離子束拋光，拿它七八個諾獎

　　“分析數據！”範曉明喝了一口熱茶，解釋說，“我跟著我導師研究euv光刻機光學鏡頭的事你是知道的，這光學鏡頭的製造是非常麻煩的，光學鏡頭的物質組成暫且就不說了，就說說光學鏡頭的鏡面加工，其中……”

　　範曉明講得很仔細，蘇哲聽的很認真。

　　目前，給製造euv光刻機制造商BsmL提供光學鏡頭的是歐羅巴的公司蔡斯。

　　蔡斯公司加工光刻機鏡頭用了精密機床銑磨，後續經過小磨頭拋光、磁流變拋光和離子束拋光達到0.12納米的面型精度峰谷值和20皮米的表面粗糙度。

　　“現在，有了更加先進的數控光學加工中心，其中包含了應力盤拋光和磁流變拋光，經過這些，光學鏡頭能夠達到10納米的面型精度峰谷值和2納米的表面粗糙度。”範曉明有些自豪的說。

　　“我們能自主生產這種數控光學加工中心嗎？”蘇哲問。

　　“可以！”範曉明有些失落的說，“現在，我們的問題就出在離子束拋光上，我們研發中心造出來的離子束拋光設備對數控光學加工中心加工出來的光學鏡頭拋光，光學鏡頭只能夠達到1納米的面型精度峰谷值和200皮米的表面粗糙度，和蔡斯加工的相比，差了整整一個數量級。”

　　“差距是有點大！”蘇哲點頭。

　　“這離子束拋光技術說起來簡單，就是用離子束去轟擊光學鏡頭的表面，可坑人的是，沒辦法確定離子束的物質組成，只能不斷的去試。”範曉明搖頭說。

　　傳統的離子束使用的是惰性氣體氬、氮等，可這樣的離子束達不到精度要求。

　　“明白了！”蘇哲想了想，接連問，“這離子束拋光技術是不是很值錢？幾百萬還是幾千萬？研發離子束拋光技術需要掌握那些知識？”

　　“當然值錢，只要你搞出了離子束拋光技術，不說一個億，就是賣十個億也有人買，要知道，高端光學鏡頭可不止應用在高端光刻機上，還有攝影、測量、顯微鏡、醫療、天象儀等等很多高精密領域。”範曉明站了起來，“至於研究需要掌握的知識，數學和物理達到博士水平就可以了。”

　　聽到離子束拋光技術這麼值錢，蘇哲心癢癢的，可他也知道，自己沒有博士的水平，暫時參與不了。

　　他有些疑惑的問：“博士？曉明哥，你不是在讀碩士嗎？”

　　“那個，我可不是一般的碩士，再說，我碩士論文發了五篇sCi，畢業答辯也完成了，再有個把月，我要回陵州理工參加碩士畢業典禮了，接著就是九月入學讀博，說句不好聽的話，要不是我自己要求高，博士我都畢業了。”範曉明拍著胸脯說。